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Parker派克減壓閥、超高純減壓閥、微型超精密減壓閥-派克儀表總代理
Parker減壓閥是針對半導體流程工藝的精確控制和高性能要求而開發的產品，它針對超
高純氣體流通環境的要求以及特種氣體的特性進行設計和制造。
①. 超高純減壓閥表面安裝集成模塊（IGS ）系列：
? 1 1? "&1 1?8"SEMI 模塊化接口設計
? 表面光潔度為 Ra
? 無螺紋/彈簧設計(介質流通的腔道內)
? Hastelloy C-?材質的膜片和閥芯
? 膜片/閥芯一體式設計
②. 微型超精密減壓閥
? 最優化的設計使流道、內腔與介質的接觸面積最小
? 表面光潔度為 Ra
? 無彈簧/螺紋設計(介質流通的腔道內)
? Hastelloy C-?材質的膜片和閥芯
? 膜片/閥芯一體式設計
③.超高純減壓閥SQ系列
? 終端（POU ）減壓閥
? 無彈簧/螺紋設計(介質流通的腔道內)
? Hastelloy C-?材質的膜片和閥芯
? 膜片/閥芯一體式設計
④. Quantum系列：
? 膜片/閥芯一體式設計
? 內腔無螺紋設計
? 膜片與閥體間采用金屬密封
? 標準Cv值0 . 04；Cv值0 . 可選
? 兩級減壓可選
