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1200℃單溫區雙路氣體CVD系統
產品型號：CY-O1200-60IC150-D2FH
主要用途：1200℃單溫區雙路氣體CVD系統廣泛用于各種反應溫度在1100℃左右的CVD實驗；也可用于：真空燒結、真空氣氛保護燒結、納米材料制備、電池材料制備等多研究領域
· 產品介紹
一、產品簡介：
1200℃單溫區雙路氣體CVD系統（配快速接頭）主要由：1200型單溫區管式爐、雙路氣體浮子流量計、CY-4C真空泵和大口徑真空管道、擋板閥等組成；氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強,內壁潔凈,不易污染氣體.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接,不易泄漏.。廣泛用于各種反應溫度在1100℃左右的CVD實驗；也可用于：真空燒結、真空氣氛保護燒結、納米材料制備、電池材料制備等多研究領域。
二、主要特點：
1.該爐體采用上下“分-合”結構，易于取放爐管；
2.爐膛內部設計有對流柵格，爐體內部氣流容易形成上下對流循環，有利于爐溫平衡，溫場均勻。
3.整個爐體采用雙層內膽式結構，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高達1100℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
4.爐膛采用進口節能材料制作，整機能耗僅僅只有同等傳統電爐的1/3，節能環保。
5.爐膛加熱元件呈圓周狀軸向均勻分布，并且發熱元件已做內嵌式固化，加熱時熱能輻射均勻溫和。
6.爐體配有：輸出電壓和輸出電流監測表，爐子加熱狀態一目了然。
7.每臺爐子出廠時：熱點偶都已做嚴格的測溫校驗，不合格品嚴禁出廠。
8.每臺爐子的控溫系統出廠前都經過低溫，中溫，高溫的老化測試，確保產品質量穩定可靠。
9.氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強,內壁潔凈,不易污染氣體.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接,不易泄漏.可以外接兩種氣體。
10.真空泵為雙擊旋片式，可以長時間連續工作，并配有油氣過濾器，可以很好的凈化油氣，防止污染。
三、技術參數：
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1 |
產品名稱 |
1200型單溫區雙路氣體浮子流量計CVD真空管式爐 |
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2 |
常規型號 |
CY-O1200-50IC150-D2FH |
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3 |
CY-O1200-60IC150-D2FH |
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4 |
CY-O1200-80IC150-D2FH |
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5 |
CY-O1200-100IC150-D2FH |
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6 |
爐膛模式 |
開啟式 |
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7 |
顯示模式 |
高亮數碼管顯示(LED) |
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8 |
爐膛材料 |
進口纖維 |
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9 |
加熱元件 |
進口合金加熱絲 |
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10 |
極限溫度 |
1200℃ |
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11 |
工作溫度 |
≤1150℃ |
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12 |
升溫速率 |
≤20℃(建議:10℃/min) |
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13 |
加熱溫區 |
單溫區 |
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14 |
溫區長度 |
440mm |
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15 |
恒溫區長 |
100mm |
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16 |
爐管材質 |
高純石英 |
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17 |
爐管常規直徑 |
50mm |
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18 |
60mm |
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19 |
80mm |
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20 |
100mm |
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21 |
爐管長度 |
1000mm |
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22 |
密封方式 |
不銹鋼真空法蘭 |
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23 |
氣 密 性 |
真空法蘭和石英爐管的氣密性最高可達4.03×10-3Pa |
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24 |
控制模式 |
智能PID多段程序控溫 |
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25 |
控溫精度 |
±1℃ |
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26 |
溫度曲線 |
多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
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27 |
預存曲線 |
可預存多條溫度曲線 |
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28 |
電流監控 |
指針式電流計 |
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29 |
電壓監控 |
指針式電壓計 |
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30 |
超溫報警 |
有 |
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31 |
過流保護 |
有 |
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32 |
斷偶提示 |
有 |
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33 |
測溫元件 |
K型熱電偶 |
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34 |
電氣認證 |
CE認證 |
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35 |
供電電源 |
AC:220V 50Hz～60Hz |
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36 |
整機功率 |
2.5KW |
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37 |
氣體通道 |
可連接2種氣源 |
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38 |
流 量 計 |
浮子流量計 |
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39 |
A路量程 |
10～100ml/min |
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40 |
B路量程 |
16～160ml/min |
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41 |
氣路壓力 |
-0.1～0.15 MPa |
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42 |
系統真空 |
5～10Pa（需要達到其它真空度時，需選配不同的抽真空裝置） |
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43 |
泵路鏈接 |
KF16不銹鋼質波紋管、KF16卡箍、KF16擋板閥 |
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44 |
真 空 計 |
標準配置機械真空計，也可選配電子真空計 |
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45 |
售后服務 |
15個月質保，終身保修 |
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包裝形式 |
多層膠合板包裝箱，包裝箱不回收 |
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隨機配件 |
石英爐管、真空法蘭、爐管堵塞、O型密封圈、防護手套、坩堝爐鉤、說明書、聚四氟管、不銹鋼卡套接頭、不銹鋼波紋管、KF轉接頭、5mm內六角扳手。 |
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48 |
整套尺寸 |
左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm |
