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MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當傳感器所處存在氣體環境中時，傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號
檢測氣體種類
（C2H5OH）： 1– 500ppm
（C7H8)：1-500ppm
（CH2O)：1-100ppm
傳感器特點
低功耗
高靈敏度
結構堅固
MEMS工藝
簡單的驅動電路
快速的響應恢復特性
主要應用
適用于室內空氣質量監測 、手機電腦等消費類子產品應用檢測空氣質量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內煙霧報警等。
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