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9090-00811 AMAT 半導體系統 晉城

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9090-00811 AMAT 半導體系統 晉城

美國應用材料公司(Applied Materials，AMAT)瞄準近年來需求高漲的功率半導體及MEMS器件市場，將強化200mm晶圓生產設備相關業務，將來還打算支持功率半導體領域的300mm晶圓及SiC/GaN的生產。

AMAT的主力業務歸根結底還是300mm晶圓相關設備，但該公司“也一直在致力于200mm設備的業務”(AMAT元件及系統部門全球服務總監田中豐)。除了銷售新的200mm設備之外，最近該公司還在開展對客戶擁有的200mm設備進行升級(改造)的服務，使這些設備能夠制造功率半導體及MEMS。該公司表示，其中尤其值得期待的是功率半導體領域。

作為200mm設備的新市場，功率半導體及MEMS器件領域值得期待。

IGBT的構造。要求實施厚膜外延及深溝道等工序。

制造Si-IGBT及超結MOSFET等功率半導體時，必須要使用厚膜的硅外延成膜設備、厚膜的鋁濺射(PVD)設備以及深蝕刻設備等。而且，要想以低成本制造功率半導體，改善處理能力也很有必要。

超結MOSFET的構造。除厚膜外延及深蝕刻外，還需實施填充溝道的間隙填充外延等工序。

瞄準功率半導體及MEMS器件領域的舉措田中介紹稱，面向功率半導體的200mm設備業務與300mm設備業務相比，“競爭環境大為不同”。300mm設備方面，AMAT的競爭對手是同行業的大型設備廠商，而200mm設備則不同，“免不了要與從事二手設備改造等業務的特定設備廠商競爭”。

這里說的特定廠商是指專門從事外延設備及濺射設備等特定設備的再生業務的廠商，其優勢是價格低。在功率半導體制造的部分工序中，這些廠商的設備足以滿足需求，因此AMAT面臨著殘酷的價格競爭。但在這些特定廠商的設備無法獲得充分特性的重要工序方面，AMAT則可發揮其技術優勢，尤其是在厚膜的外延成膜設備、鋁濺射設備及深溝道蝕刻設備等領域，AMAT可輕松發揮技術上的優越性。

具體而言，厚膜的外延成膜設備方面，AMAT計劃在2014年滿足進一步厚膜化的需求，并改善處理能力。雖然目前能實現的膜厚最大為100μm，但2014年將達到150μm，此外還將把成膜速度從目前的4μm/分鐘提高至5μm/分鐘。另外，在厚膜的鋁濺射設備方面，還打算在2014年內確立膜厚達到5μm、鋁成膜速度達到2μm/分鐘的技術。

此外，AMAT還將大力開發為超結MOSFET形成溝道的深溝道蝕刻設備、填充溝道的間隙填充外延設備、離子注入設備，以及厚度不到100μm的薄化晶圓的處理技術等。

將來的舉措方面，AMAT提到了支持300mm晶圓及SiC/GaN的生產需求的措施。業內普遍認為，在硅功率半導體領域，2～3年后部分器件將開始用300mm晶圓來制造。從目前看，估計有很多廠商不會購置新的300mm設備，而是對已有的300mm設備實施改造來制造功率半導體。為此，AMAT將積極展開準備工作，以便使在200mm設備中確立的面向功率半導體領域的技術能夠推廣到300mm設備。

XYCOM PROFACE GP370-SC41-24VP RQAUS1
XYCOM XYCOM PM9403R RQAUS1
Xycom 9460 Terminal
XYCOM XYCOM 9403 RQANS1
AMAT 0820-01057 VESDA LaserCOMPACT Display Module
APPLIED MATERIALS AMAT OPAL SEMVISION CX TILT THETA CONTROLLER
AMAT 0225-97598 SWINGARM ASSY, MODIFIED
CAT 522020020 DRAIN TANK SUS
KLA TENCOR TIMING GENERATOR PCB 289787 AIT2
AMAT 0224-49613 WELDMENT,MANIFOLD SINGLE VALVE 8-LINE,
XYCOM XYCOM 9460-51338-TFT-T-F RQAUS1
AMAT 0227-64040 MANIFOLD, 7WAY FUJIKIN 8.66L
XYCOM XYCOM 3612-0042002021001 RQAUS1
AMAT 0100-01159 PWBA DAQ MICRO LINKED
XYCOM XYCOM 4115T RQAUS1
XYCOM PROFACE 1341-1008003000001 RQAUS1
XYCOM PROFACE AST3501-C1-AF RQANS2
AMAT 0200-40013 Slab, Silicon, pedestal
Xycom XVME-674 Circuit Boards 7167B-100 Rev. 4.1 - New No Box
AMAT 0020-30404 Perf. Plate, 150MM BW
Pro-face XYCOM 4715-KPMT Industrial PC Color Touch/Keypad, Nice Used

Tested
Lam Research OnTrak 605-016005-002 - PLLRGE272 PCB Interface User

XYCOM 2000 New
XYCOM XYCOM 70957-014 RQAUS1
AMAT 0150-16084 CA CHAMBER A-B-C-D,50 FT
AMAT 9010-00729 clip actuator
TOKYO ELECTRON TTLM02-12 MDIF5B PCB DS2180-021108-11 TEL FURNACE PCB

I/O
TOKYO ELECTRON TTLM01-12 MDIF2B PCB 2180-021107-11 TEL LITHIUS
AMAT 0020-27937 Bellows Location Insulator, Q2
AMAT 0021-01602 MANIFOLD,INPUT,WATER,NI PL, TI-XZ
AMAT 0010-08703 Assembly, Robot Blade, MF, ECP
AMAT 1410-00796 GUN HEATER JACKET
Xycom 9450-0446614010000 38-K42IMA-01 - Used
AMAT 0140-01363 HARNESS ASSY, CELL HEAD INTCONN, ELECTRA
AMAT 0010-07316 ASSY, CASSETTE HANDLER, W/ TILTOUT, 200M
AMAT 0240-32712 Kit, Temperature Controller Addition
XYCOM XYCOM XVME-531 RQAUS1
XYCOM XYCOM XVME-531 (1.1) RQAUS1
Xycom Interface Panel/Monitor, 3512 KPM T _ 115 / 230 VAC _ 3512-

A1F214003600T
Xycom 9485 Operator Interface p/n 9485-0343314010000 Mazak VMM VQC-30

w/Cam M-2
KD Scientific KDS330 Emulsifier Syringe Pump
Rorze Automation NEC PC-9801US Mainframe Computer
AMAT 0021-14063 BODY, NOVA WAFER ROTATION, REFLEXION 300
AMAT 0200-50122 DOME, DOS, NON-FLAME, POLISHED
Pacific Scientific 70 40/40 Sensor, IN-Situ Particle Level Chamber

Vacuum
XYCOM XYCOM 3612-0053110005001 RQANS1
AMAT 30612460000 CAPU ASSY
AMAT 0200-10066 RING,CENT 125/115 1FL 42.5MM(125.5)SR,
AMAT 0010-39201 ASSY, CONTROLLER VIDEO/EMO BULKHEAD
AVIZA 908193-001 ANALOG BOARD,EXTENDED(SEMY)
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XYCOM PROFACE ST401-AG41-24V RQANS1
AMAT 0010-91456 ASSY, ARM POSITION SENSORS
AMAT 0200-03168 DEP RING, 200MM CLEANCOAT, BARE, 99.8%,
XYCOM PROFACE GP430-EGE1-220 RQANS1
AMAT 0050-42324 LINE, MANIFOLD DOWNSTREAM, NO P/P, SINER
TEL 6650000 BOAT 200mm 140 SLOT SILICON CARBIDE
MEIDEN UA201/108A Controller - DNS SK 2000
KIT SERVICE TABLE 918243-001 KIT SERVICE TABLE SPLICE BELT -API
PRO-FACE XYCOM 5015R2-01000002011 15" OPERATOR INTERFACE PANEL

*FACTORY SEALED*
AMAT 0190-10643 KENSINGTON EG/EGA ROBOT, WAIST-AXIS PCB,
XYCOM XYCOM 70675-098 RQAUS1
AXCELIS 250711 ACU/PCU/MCU SYSTEM CONTROL & DISPLAY
DNS 2-AE-J0132 ASSY, HP RIGHT SK2000
TOKYO ELECTRON LIMITED TEL UPPER ELECTRODE 300MM ES1D10-204310C11 NEW

OEM
AMAT 0100-00436 PCB Assembly, HDPCVD 300mm OPTO Interface
KLA TENCOR AIT PCB ANALOG COLLECTOR PCB 512931
ELGAR MODEL 1001SX-14 AC POWER SUPPLY 115V 1PH
APPLIED MATERIALS AMAT ENDURA PRECLEAN II CERAMIC SKIRT 0240-08727

0010-01245
DNS 2-XZ-13045 PLATE, HOT ADHESION (AH) 80B ASSY
Electro Scientific Industries 86841-000 ESI Amplifiers, Rack Mount

Servo
AMAT 0040-39208 WELDMENT,ENCLOSURE,LDS,TANTALUM
Xycom 3715-KPM Operator Interface 100-240V ! WOW !
XYCOM PROFACE GP37-7SC41-24V RQAUS1
XYCOM XYCOM 26S14MA5-01 RQAUS1
XYCOM XYCOM VME-70661-714 (A) RQAUS1
AMAT 0010-A0213 OPTICAL HEAD CMP
XYCOM XYCOM XVME-675 RQANS1
LAM RESEARCH 853-00198-002 GATE & LINKAGE INNERDOOR ASSY
LAM 716-028722-161 QUARTZ RING (FOR ESC CHUCK) KIT LAM TCP9400 POLY


BOC EDWARDS A540-11-999 BOC EDWARDS EXIT OIL FILTER CR BASE MODULE;

40CR
XYCOM PROFACE FP2500-T12 RQAUS1
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