MicroTool EL-3003 電子水準儀晶圓 EL-1503 EL-5003
品牌：MicroTool
類別：電子水準儀晶圓
型號：EL-Series

公司簡介：
MicroTool的產品通過改進關鍵的晶圓處理操作來提高硅產量和設備正常運行時間。
我們花了數年時間開發用于測量和分析機器人、裝載口和其他工廠自動化的設備。
這些系統將“對齊藝術”轉化為可重復和可測量的科學。

產品簡介：
在不損壞硅片的情況下設置和循環測試您的設備。
這種高科技碳纖維復合材料晶片幾乎堅不可摧，按照SEMI標準直徑、平整度和凹口規格制造。
碳纖維虛擬晶片也被設計為模仿硅片的重量和結構特性。

提供125、150、200、300和450mm SEMI兼容直徑。
還可以定制印刷圖案和機加工幾何形狀。
碳纖維材料的重量接近硅片的重量。
晶圓周長和凹口與預對準器兼容。
碳纖維材料幾乎堅不可摧。
與真空和邊緣抓握末端執行器兼容。

產品介紹：
很快就會成為您工具箱中使用最多的項目！保留所有你的
設備與布魯克斯的電子水平晶片“在水平面上”。
與硅片的重量相匹配，這款多功能工具
該設計允許在末端執行器和晶片處理刀片上使用
以及晶片盒和石英舟。簡單到
使用顯示器，您可以向地面或您自己的用戶水平
定義的參考平面。直觀的圖形和觸摸屏
簡化操作，同時遠程實時顯示
便于遠程調整。

Features:  
> 2-Axis electronic level for leveling to 
ground or to a learned reference 
> Numerical readout for both pitch and 
roll allows for statistical analysis and 
calibration to specification  
> Intuitive graphics screens and touch 
screen LCD simplify operation 
> Adjustments can be made 
conveniently using the remote real
time display 
> Carbon fiber wafer mimics the 
geometry and weight of a silicon wafer 
> New high resolution, high accuracy 
electronic level 
> New low profile – fits through more slit 
valves 
> Fast settling time 
> Improved software with user setup 
capabilities 
> Settable tolerances w/ graphical 
pass/fail indication 
> Data logging allows dynamic studies 
and facilitates monitoring equipment 
over time

其它相關型號：
MicroTool EL-1503   Form Factor：150mm
MicroTool EL-2003   Form Factor：200mm
MicroTool EL-3003   Form Factor：300mm
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