Physik InstrumeP-541.2 ? P-542.2 XY壓電工作臺

P-541.2 ? P-542.2 XY壓電工作臺

大口徑低外形XY納米定位系統

• 低外形、易于集成：16.5毫米

• 孔徑為80 毫米 × 80 毫米

• 行程達200 微米 × 200 微米

• 并聯運動實現更快的響應時間和更高的多軸精度

• 高動態直接驅動版本

• 傳感器技術：價格實惠的應變片傳感器或可實現更高性能的電容式傳感器

• PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

• 可與顯微鏡平臺組合實現更長行程

應用領域

• 掃描顯微鏡

• 高吞吐量顯微鏡

• 超分辨率顯微鏡

• 掩模/晶圓定位

• 干涉測量

• 測量技術

• 生物技術

• 顯微操縱

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測量帶來大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現的重復精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯運動實現高動態多軸操作

在并聯多軸系統中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有小的質量慣性和相同的設計，可實現快速、動態和精密的運動。

Ordering Information

P-541.2DD

XY nanopositioning system with large aperture, high dynamics direct drive, 45 μm × 45 μm, parallel kinematics, capacitive sensors, Sub-D connector

P-541.2CD

XY nanopositioning system with large aperture, 100 μm × 100 μm, parallel kinematics, capacitive sensors, Sub-D connector

P-541.2CL

XY nanopositioning system with large aperture, 100 μm × 100 μm, parallel kinematics, capacitive sensors, LEMO connector(s)

P-542.2CD

 XY nanopositioning system with large aperture, 200 μm × 200 μm, parallel kinematics, capacitive sensors, Sub-D connector

P-542.2CL

XY nanopositioning system with large aperture, 200 μm × 200 μm, parallel kinematics, capacitive sensors, LEMO connector(s)

P-541.2SL

XY nanopositioning system with large aperture, 100 μm × 100 μm, strain gauge sensors, LEMO connector(s)

P-542.2SL

XY nanopositioning system with large aperture, 200 μm × 200 μm, strain gauge sensors, LEMO connector(s)

P-541.20L

XY nanopositioning system with large aperture, 100 μm × 100 μm, without sensors, LEMO connector(s)

P-542.20L

XY nanopositioning system with large aperture, 200 μm × 200 μm, without sensors, LEMO connector(s) Accessories

P-542.PD1

Petri dish holder for P-54x nanopositioning systems, 35 mm

P-542.SH1

Microscope slide holder for P-54x nanopositioning systems