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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | KLFLOC | ||
| 是否進口 | 是 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | 5400 | ||
| 貨號 | 5400 | ||
5400系列
日本KOFLOC
KOFLOC5400流量控制器 日本質量流量控制器系列質量流量控制器-金屬密封
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m3/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環境下
±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用
KOFLOC5400流量控制器 日本質量流量控制器電氣連接
| 5400質量流量控制器
|
量程(N2)
| 10SCCM-20SLPM(另外50SLM)
|
精度
| ±1.0FS
|
重復性
| ±0.2FS
|
響應時間
| 1秒以內
|
耐壓
| 1.0Mpa
|
進口壓力
| O.3Mpa
|
動作壓差
| 0.05-0.3Mpa
|
泄漏率
| 1*10-11pa·m3/s以下
|
溫度范圍
| 5-45℃
|
濕度范圍
| 10-90RH(不能結露)
|
材質
| 本體SUS316L
|
密封圈SUS316L、PTFE
| |
電氣接口
| DB9
|
模擬信號
| 0-5V輸入/輸出
|
供電
| 15VDC(±5)100mA；-15VDC(±5)100mA；
|
管路連接
| 標配1/4UJR
|
選配1/8UJR
| |
重量
| 約1000g
|
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KOFLOC5400流量控制器 日本質量流量控制器電氣連接
針腳/顏色
| 定義
|
1針腳/棕色
| 閥門全開/全閉
|
2針腳/白色
| 0-5V輸出
|
3針腳/紅色
| 15VDC
|
4針腳/黑色
| 電源COM
|
5針腳/黃色
| -15VDC
|
6針腳/灰色
| 0-5V輸入
|
7針腳/綠色
| 輸出COM
|
8針腳/蘭色
| 輸入COM
|
9針腳/紫色
| 閥門電源輸出
|
KOFLOC5400流量控制器 日本質量流量控制器使用注意
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口壓力3公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
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