商鋪名稱:東莞市宏誠光學制品有限公司
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OTFC- 1550光馳機(年份:2015. 11)包上門安裝培訓,公司還有各種先進濺射和蒸鍍機,承接各種高性能中長波紅外光學窗口、各波段濾光片、各種光電子元器件產品以及定制化服務
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM
工件架:Ф1400
工件架轉速:10rpm to 30rpm (可變)
光學膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A
光學膜厚監控儀:波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚計:XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發源:2套日本電子16P雙槍
離子源:17寸光馳RF離子源
排氣系統:機械泵2個,擴散泵Polycold (或2個冷凝泵)275機械泵+愛德華配套羅茨泵
性能
達到壓力:7. 0X10-5Pa以下
排氣時間:20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa)
基板溫度:高: 350C
工作條件
設備尺寸:藥500m00) x 7200m(D)X53700mm
電源:3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA
水流量:180升/分以上
空氣壓力:0.5MPa以上
重量:約11000kg
詳情 楊總監 13723521401 18103045976