商鋪名稱:湘潭市宏鋒機械設備制造廠
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多弧離子鍍膜設備 工具鍍
技術參數:
▲夾具方式:采用公自轉行星式齒輪結構,工件速度在1-15轉/分鐘可調。
▲控制氣體方式:采用質量流量計控制,進氣穩定,反映速度快。
▲靶:采用整體制造技術,嚴格縝密的磁場設計和磁場布局,濺射刻蝕均勻。
▲電源:配置有高頻直流電源(20KW、40KW等規格)、直流脈沖電源(電壓、占空比可調節),逆變電弧電源,并可根據實際的情況加裝離子源等輔助設施。
▲抽氣系統:采用國產品牌機械泵、羅茨泵、擴散泵,根據其真空室大小確定合理型號。也可以根據客戶的需要配備分子泵或者進口泵等。
▲抽真空參數:從大氣抽至5*10‾³Pa≤15min 極限真空度8*10‾4Pa 控制系統