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Pfeiffer HiPace 80 抽速可達到 71 l/s 高性能渦輪分子泵. 對所有氣體的高抽速和極高壓縮比,防護等級 IP 54, 符合工業環境要求,并且可應用于腐蝕性氣體工藝
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分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 隔離真空, 燈管制造